|
|
|
Ç׿ÂÇ×½À±â´Â Àü»ê ±â±â½ÇÀÇ ºÎ¼ÓÇ°ÀÇ ¿ÆØâ°ú ³»ºÎ ÀÀ°á ¹× Á¤Àü±â ¹ß»ý µîÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀϾ ¼ö ÀÖ´Â µ¿ÀÛ ¸¶ºñÇö»óÀ» ¸·±â À§ÇØ Çö¿°ú Àá¿ÀÌ
Ç×»ó ÀÏÁ¤ÇÑ »óÅ·ΠÀ¯ÁöµÇµµ·Ï ¼³°èÇÑ ½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ´Ü¼øÇÑ ³Ã°¢ »Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó, ÄÄÇ»Åͱâ±â Á¦Á¶ÀÚ¿¡ ÀÇÇØ ÁöÁ¤µÈ ¿îÀü Á¶°Ç¿¡ µû¶ó ¿Âµµ, ½Àµµ,
°ø±âûÁ¤, °ø±âÈ®»êÀ» µ¿½Ã¿¡ Á¶ÀýÇØ Áִ ÷´Ü Á¦Ç° ÀÔ´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
ÀÌÀ½»õ°¡ ¾ø´Â ÀÎÅ»»ê µ¿°ü(99.9%)°ú ¾Ë·ç¹Ì´½ÇÉÀ»»ç¿ëÇÏ¿© ³Ã°¢È¿À²À» ³ôÀÌ°í ºÎ½ÄÀ» ÃÖ¼ÒÈ ÇÏ¿´À¸¸ç, ÀÚµ¿À¯¾Ð¹æ½Ä¿¡ ÀÇÇÑ ´Ù°øÈ®°üÀ¸·Î µ¿°ü°ú
¾Ë·ç¹Ì´½ÇÉÀÇ ¿ÏÀü¹ÐÂøÀÌ Àü¿È¿°ú¸¦ Áõ´ë½ÃÅ°¸ç ±ÕÀÏÇÑ ÇÉÇÇÄ¡¸¦ À¯ÁöÇϵµ·Ï ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
Aero Fin typeÀ¸·Î ¹ß¿Ã¼¸¦ ÀÏüÈÇÏ¿© È¿À²À»±Ø´ëÈÇϵµ·Ï Á¦À۵ǾúÀ¸¸ç SUS FINÀ» »ç¿ëÇØ ºÎ½ÄÀ» ¹æÁöÇÏ¿´½À´Ï´Ù. ¶Ç
ÇÑ ¼³Ä¡Á¶°Ç°ú ¼ö¿äÀÚÀÇ ¿ä±¸¿¡ µû¶ó ÇüÅÂ¿Í Àü¿øÀ» ÀÚÀ¯·Ó°Ô »ç¿ëÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ºü¸¥ ¿Àü´Þ°ú ³·Àº Ç¥¸é ºÎÇÏ·Î ¹Ý¿µ±¸Àû
À¸·Î »ç¿ëÀÌ °¡´ÉÇϸç È÷ŸÀÇ °ú¿¹æÁö¸¦ À§ÇØ ¿Âµµ °ú¿¹æÁöTC¸¦ ºÎÂøÇÏ¿´½À´Ï´Ù |
|
|
|
|
|
|
¿Õº¹µ¿½Ä ¾ÐÃà±â´Â Àú¼ÒÀ½ ¹× ÀúÁøµ¿À» À¯ÁöÇϸç°øÁ¶¿ëÀ¸·Î¼ ¿ùµîÇÑ ³Ãµ¿ È¿°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ°í, ¿øÈ°ÇÑ ¿îÀüÀÌ µÇµµ·Ï ¼³
°èµÇ¾î ¼ö¿äÀÚµé·Î ºÎÅͽŷڼºÀ» ¹Þ°í ÀÖ´Â Á¦Ç°ÀÔ´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
ÀüÀÚÀü±ØºÀ½Ä °¡½À±â¸¦ »ç¿ëÇϸç ÀÚµ¿ ±Þ¼öÁ¶ÀýÀåÄ¡¹× Àú¼öÀ§ º¸È£ÀåÄ¡°¡ ±Þ¼ö¸¦ Á¶ÀýÇÏ¿© °¡½À±âÀÇ ¹°ÀÌ ÀÚµ¿À¸·Î µå·¹ÀÎ
µË´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
¿ÜºÎ±Õ¾Ð°ü½Ä ÆØâ¹ëºê´Â Áõ¹ß±â·ÎºÎÅÍ °ú¿µµ¸¦ Á¶ÀýÇÔÀ¸·Î¼ ½Ç³»ÀÇ ¿ºÎÇÏ¿¡ µû¶ó ³Ã¸Å·®À» Á¶ÀýÇÏ¿© ¾ÐÃà±â º¸È£(¾×
ÇܸÓ) ¹× Áõ¹ß±â°¡ ÃÖ´ëÀÇ ³Ã°¢ È¿À²À» ¹ßÈÖÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Compressor, Àç¿ Heater, °¡½À HeaterºÎºÐÀÌ ·ÎŸ¸® ¿îÀü¹æ½ÄÀ¸·Î °¢ ºÎºÐ¼³ºñÀÇ °¡µ¿½Ã°£À»
Stepº° ±ÕµîÇÏ°Ô ºÐ¹èÇÔÀ¸·Î½á ºÎºÐº° °¡µ¿½Ã°£À» ÀÏÁ¤ÇÏ°Ô ¿îÀüÇÏ¿© ¼ö¸íÀ» ¿¬Àå½Ãų ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
°Ü¿ïö ¶Ç´Â ¹è°ü LineÀÌ ±ä °æ¿ì ÃÖÃÊ °¡µ¿½Ã ¹ß»ýÇÒ ¼ö ÀÖ´Â Low PressureÀÇ ÀæÀº µ¿ÀÛÀ¸·Î ÀÎÇÑ
CompressorÀÇ ¼Ò¼ÕÀ» ¹æÁö ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. |
|
|
Á¤ÀüÈÄ Àü¿ø º¹±Í½Ã ¿©·¯ Àåºñ°¡ µ¿½Ã °¡µ¿ÇÒ ¶§ ¹ß»ý µÇ´Â °úºÎÇϸ¦ ¹æÁöÇϱâ À§ÇÏ¿© °¢ Àåºñº°·Î START ½Ã°£À»
Á¶Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. |
|
|
Á¤»ó ¿îÀüÁß Àåºñ¸¦ Á¤ÁöÇϸé Heater¹× ±âŸºÎºÐ¿¡ ÀÜ¿·Î ÀÎÇÏ¿© ¹ß»ýµÉ ¼ö ÀÖ´Â ¾ÈÀü»ç°í (´Ü¿ÀçÀÇ ÆļÕ,
ÈÀçµî)¸¦ ´ëºñÇÏ¿© ¼³°èµÇ¾ú½À´Ï´Ù. |
|
|
Áß¾Ó°¨½Ã¹Ý°ú ¿¬°á½Ã ÀåºñÀÇ ON/OFF ¹× ÀÌ»ó°æº¸¸¦ ¹ÞÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï ¼³°è
µÇ¾ú½À´Ï´Ù. | |
|
| |
|
|
|
|
°ø±âÀÇ À¯µ¿»óÅ°¡ ¸Å¿ì ¿øÈ°ÇÏ¸ç ºÒÄèÇÑ ¼ÒÀ½, Áøµ¿ÀÌ ¾ø¾î ¿îÀüÀÌ ±ØÈ÷ Á¤¼÷ÇÏ°í, µ¿ÀÏdz¾Ð¿¡ ´ëÇؼµµ ¼Óµµ°¡ ³·¾Æ ¼ÒÀ½
ÀÌ Àû½À´Ï´Ù.
¶ÇÇÑ µ¿ÀÏ¿ë·®¿¡ ºñÇØ Å©±â°¡ Àû¾î ¼³Ä¡¸éÀûÀÌ ÀûÀ¸¸ç, °øÁ¶¿ë¿¡ ÀûÇÕÇÑ ±¸¸®½º¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© º£¾î¸µºÎ ¹× ¸ðÅÍÀÇ ¾ÈÀü¼ºÀ»
À¯ÁöÇϵµ·Ï Á¦À۵Ǿú½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
°¢ ºÎÇ°ÀÇ À¯·®, ¾Ð·Â, ¿Âµµ µîÀ» Á¦¾îÇÏ¿© °æÁ¦ÀûÀÌ°í ¾ÈÀüÇÑ ¿îÀüÀÌ µÇµµ·Ï Çϸç, ½Å·Ú¼ºÀ» À¯ÁöÇϱâ À§ÇØ µå¶óÀ̾î, »çÀÌ
µå ±Û¶ó½º, ÀüÀÚº¯ µîÀ» ºÎÂøÇÏ¿© ³Ãµ¿±âÀÇ ¿øÈ°ÇÑ ¿îÀü°ú »óŸ¦ Á¡°ËÅä·Ï ÇÏ¿´½À´Ï´Ù. |
|
|
|
|
|
|
|
ÀüÀÚ°ø¾÷ ¹× Á¤¹Ð±â°è°ø¾÷¿¡¼´Â ÃʹÐÀÔÀÚÀÇ Á¦°Å Á¤µµ¿¡ µû¶ó Á¦Ç°ÀÇ Áú¿¡ ¿µÇâÀ» ÁØ´Ù.
-
ÀÔ°æ 0.3Hot Dop Test·Î½á 99.97%ÀÌ»ó
ÀÌ»óÀÇ ³ôÀº È¿À² -
¿©°ú ¸éÀû°ú Æ÷Áý¿ë·®ÀÌ Ä¿ ¼ö¸íÀÌ ±æ´Ù.
- ´Ùdz·®ÇüÀº µ¿ÀÏ ¸éÀû¿¡ ºñÇØ ¾à 1.3~2¹è
Á¤µµ dz·® 󸮰¡ °¡´ÉÇÏ´Ù. -
Clean-Room±â±â, º´¿øÀÇ ¼ö¼ú½Ç µî¿¡
Final Filter·Î »ç¿ëÇÑ´Ù.
|
|
|
|
|
|
½Ç³»(Ç׿ÂÇ×½À½Ç)¿¡ ÀԽǽà ¿ÜºÎ·ÎºÎÅÍ ºÐÁø ¹× ¹Ì»ý¹°·ù µîÀÇ ¿À¿°¹°ÁúÀÌ À¯ÀԵǴ °ÍÀ» FILTER¸¦ ºÎÂøÇÏ¿© ½Ç³»ÀÇ °ø±â
¸¦ »ó½ÃûÁ¤°ø±â·Î À¯ÁöÇÏ´Â È¿°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|